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過濾器

由于供氣體用的熱式質量流量計/控制器的固有結構，其產品對氣體污染物非常敏感。為了提高平均故障間隔時間，一個重要因數就是須保證輸入儀表的氣體是干凈的。內聯過濾組件通過螺絲被固定在儀表入口，使其具有過濾功能。它包含一個316L燒結金屬過濾器盒，適用于普通用途的過濾，并且可以應用恰當的溶劑來清洗。但如果氣體中含有大量的微粒物質，建議使用一個上游過濾器。

 

可選

  • 低流量或者中等流式過濾器的儀表應該選擇一個配有?”內螺紋的入口連接；而高流量過濾器適合與配有?” 內螺紋的連接；超低流量過濾器配有一個1/8″連接。
  • 原則上應該選擇低 ΔP的孔隙度； ΔP建議不要高于250到500mbar,并且孔隙度不應該大于5 μm。跨線濾波器的壓差，可以幫助我們在網絡上的在線計算工具FLUIDAT計算。

可供型號

形式 型號 壓力等級 絕對壓力(μm) 內/外接口
ultra-low-flow M-410-13 ?100 bar 0.5 I 1/8″female
M-420-13 ?200 bar O 1/8″male
M-410-16 ?100 bar 2 I 1/8″female
M-420-16 ?200 bar O 1/8″male
M-410-18 ?100 bar 7 I 1/8″female
M-420-18 ?200 bar O 1/8″male
M-410-20 ?100 bar 15 I 1/8″female
M-420-20 ?200 bar O 1/8″male

 

形式 型號 壓力等級 絕對壓力(μm) 內/外接口
low-flow M-411-13 100 bar 0.5

I

 1/4″female
M-421-13 200 bar

O

 1/4″male
M-411-16 100 bar 2

I

 1/4″female
M-421-16 200 bar

O

 1/4″male
M-411-18 100 bar 7

I

 1/4″female
M-421-18 200 bar

O

 1/4″male
M-411-20 100 bar 15

I

 1/4″female
M-421-20 200 bar

O

 1/4″male

 

形式 型號 壓力等級 絕對壓力(μm) 內/外接口
medium-flow M-412-16 100 bar 2

I

 1/4″female
M-422-16 200 bar

O

 1/4″male
M-412-17 100 bar 5

I

 1/4″female
M-422-17 200 bar

O

 1/4″male
M-412-19 100 bar 10

I

 1/4″female
M-422-19 200 bar

O

 1/4″male
M-412-21 100 bar 20

I

 1/4″female
M-422-21 200 bar

O

 1/4″male

 

形式 型號 壓力等級 絕對壓力 (μm) 內/外接口
high-flow M-413-16 100 bar 2

I

 1/2″female
M-423-16 200 bar

O

 1/2″male
M-413-17 100 bar 5

I

 1/2″female
M-423-17 200 bar

O

 1/2″male
M-413-19 100 bar 10

I

 1/2″female
M-423-19 200 bar

O

 1/2″male
M-413-21 100 bar 20

I

 1/2″female
M-423-21 200 bar

O

 1/2″male
M-413-33 100 bar 40

I

 1/2″female
M-423-33 200 bar

O

 1/2″male